SMU 源测量仪

• 集 5 台仪器 (数字万用表、电压源、电流源、电子负载和脉冲发生器) 功能于⼀体

• 典型输出源及测量精度 0.02%,支持直流/脉冲输出模式

• 脉冲输出模式,最⼩脉冲宽度 100 us ,上升时间 10 us

• 具有 pA 级分辨率高精度源,且支持多通道并联扩流功能

• 支持 2 线、4 线制电阻测量

• 支持 SCPI 驱动及命令

概述

精密型源测量单元(SMU)能够实现四象限操作,精确地输出电压或电流以及同时测量电压、电流和电阻等功能。它集成了六位半数字万用表 (DMM) 、五位半精密电压源、电流源、电子负载和脉冲发生器的功能,具有功能丰富,体积小巧紧凑,标准测试接口等特点,非常适合集成到测试治具中。SG2165 源测量单元平台主要用于半导体、传感器、模组等 IVR 测试测量。其为产线测试量身定制,为产线自动化 ICT 及 FCT 提供高效、高性价比的测试测量 解决方案。

I-V 测试性能

适用范围

主要用于:半导体、传感器、模组等 IVR 测试测量

其为产线测试量身定制,为产线自动化 ICT 及 FCT 提供高效、高性价比的测试测量解决方案。

 

规格

型号

SG2165

规格

20 W

通道

1

象限

4

电压精度

范围

设定分辨率

设定精度

测量分辨率

测量精度

200 mV

2 uV

0.02%+375 uV

15 nV

0.02%+375 uV

2 V

20 uV

0.02%+600 uV

150 nV

0.02%+600 uV

20 V

200 uV

0.02%+5 mV

1.5 uV

0.02%+5 mV

电流精度

范围

设定分辨率

设定精度

测量分辨率

测量精度

100 nA

1 pA

0.06%+50 pA

10 fA

0.06%+50 pA

1 uA

10 pA

0.03%+700 pA

100 fA

0.03%+700 pA

10 uA

100 pA

0.03%+5 nA

1 pA

0.03%+5 nA

100 uA

1 nA

0.03%+60 nA

10 pA

0.03%+60 nA

1 mA

10 nA

0.03%+300 nA

100 pA

0.03%+300 nA

10 mA

100 nA

0.03%+6 uA

1 nA

0.03%+6 uA

100 mA

1 uA

0.03%+30 uA

10 nA

0.03%+30 uA

1 A

10 uA

0.05%+1.8 mA

100 nA

0.05%+1.8 mA

3 A (≤6 V )

100 uA

0.4%+8 mA

1 uA

0.4%+8 mA

输出

电压源

范围

典型输出建立时间

测试条件

200 mV

<20 us

空载条件下, 10%-90% 的电压变化时间

2 V

<50 us

20 V

<200 us

电流源

100 nA

<10 ms

 

在输出短路条件下 10%-90% 的电流变化时间

1 uA

<5 ms

10 uA

<5 ms

100 uA

<1 ms

1 mA

<300 us

10 mA

<20 us

100 mA

<20 us

1 A

<20 us

电压纹波噪声 (10 Hz-20 MHz)

3 mVrms, 20 V range