概述
精密型源测量单元(SMU)能够实现四象限操作,精确地输出电压或电流以及同时测量电压、电流和电阻等功能。它集成了六位半数字万用表 (DMM) 、五位半精密电压源、电流源、电子负载和脉冲发生器的功能,具有功能丰富,体积小巧紧凑,标准测试接口等特点,非常适合集成到测试治具中。SG2165 源测量单元平台主要用于半导体、传感器、模组等 IVR 测试测量。其为产线测试量身定制,为产线自动化 ICT 及 FCT 提供高效、高性价比的测试测量 解决方案。
I-V 测试性能
适用范围
主要用于:半导体、传感器、模组等 IVR 测试测量
其为产线测试量身定制,为产线自动化 ICT 及 FCT 提供高效、高性价比的测试测量解决方案。
规格
型号 |
SG2165 |
||||
规格 |
20 W |
||||
通道 |
1 |
||||
象限 |
4 |
||||
电压精度 |
范围 |
设定分辨率 |
设定精度 |
测量分辨率 |
测量精度 |
200 mV |
2 uV |
0.02%+375 uV |
15 nV |
0.02%+375 uV |
|
2 V |
20 uV |
0.02%+600 uV |
150 nV |
0.02%+600 uV |
|
20 V |
200 uV |
0.02%+5 mV |
1.5 uV |
0.02%+5 mV |
|
电流精度 |
范围 |
设定分辨率 |
设定精度 |
测量分辨率 |
测量精度 |
100 nA |
1 pA |
0.06%+50 pA |
10 fA |
0.06%+50 pA |
|
1 uA |
10 pA |
0.03%+700 pA |
100 fA |
0.03%+700 pA |
|
10 uA |
100 pA |
0.03%+5 nA |
1 pA |
0.03%+5 nA |
|
100 uA |
1 nA |
0.03%+60 nA |
10 pA |
0.03%+60 nA |
|
1 mA |
10 nA |
0.03%+300 nA |
100 pA |
0.03%+300 nA |
|
10 mA |
100 nA |
0.03%+6 uA |
1 nA |
0.03%+6 uA |
|
100 mA |
1 uA |
0.03%+30 uA |
10 nA |
0.03%+30 uA |
|
1 A |
10 uA |
0.05%+1.8 mA |
100 nA |
0.05%+1.8 mA |
|
3 A (≤6 V ) |
100 uA |
0.4%+8 mA |
1 uA |
0.4%+8 mA |
|
输出 |
电压源 |
范围 |
典型输出建立时间 |
测试条件 |
|
200 mV |
<20 us |
空载条件下, 10%-90% 的电压变化时间 |
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2 V |
<50 us |
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20 V |
<200 us |
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电流源 |
100 nA |
<10 ms |
在输出短路条件下 10%-90% 的电流变化时间 |
||
1 uA |
<5 ms |
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10 uA |
<5 ms |
||||
100 uA |
<1 ms |
||||
1 mA |
<300 us |
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10 mA |
<20 us |
||||
100 mA |
<20 us |
||||
1 A |
<20 us |
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电压纹波噪声 (10 Hz-20 MHz) |
3 mVrms, 20 V range |